| CF160镜头系统 |
| CF160镜头—Nikon顶级光学技术的结晶，所呈现明亮、高对比的影像最合适用于观察大尺寸LCD基板与彩色滤光片。次系统可透过影像处理对工件进行尺寸测量或作局部观察，亦可利用DIC模组作影像强化处理。 |
| 电动鼻轮 |
| 以CNC控制为基础的电动鼻轮可在编辑程式中切换不同倍率，让您以最佳的物镜在最适合的倍率下得到最佳的观察效果。 |
| 从测量作业到资料处理全程自动化控制 |
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轻易的以软体控制所有系统功能，包含各种灯源控制、影像处理以及载物台移动等，自动化测量作业带给您准确、一致的测量结果。
| 下列功能在LU机型中必须以手动方式操作： |
| 明视野/暗视野切换 |
| 视野与光圈设定 |
| 上/下偏光（可选配电动控制） |
| DIC设定 |
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| 电动控制上/下偏光（选配） |
| 电动控制上/下偏光可让操作者配合工件得到最佳影像对比；若再经由DIC影像处理，便可展现锐利的像差效果。 |
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LCD物镜组之效果
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| 比较透过玻璃基板所观察到的影像。即使透过玻璃仍可得到清晰的影像效果。 |
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Nomarski DIC 影像处理
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| 透过DIC影像处理即使是微小的高度差，也能呈现出高对比度的影像品质。因而能借此观察到ACF（Anisotropic Conductive Film)接合制程中的导电粒子。 |
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暗视野影像
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| 在暗视野模式下可容易地观察到细小粒子或工件表面的刮痕。 |
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| 多元的CF160物镜组 |
| CF160光学系统创造了明亮、高对比的影像品质；同时带给您高N.A.值与充裕的工作距离；VMR LU机型可搭配采用不同的CF160物镜组。 |
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CFI60 objective lenses
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Magnification
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N.A.
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W.D. (mm)
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CFI LU Plan BD
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5X
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0.15
|
18.00
|
|
10X
|
0.30
|
15.00
|
|
20X
|
0.45
|
4.50
|
|
50X
|
0.80
|
1.00
|
|
100X
|
0.90
|
1.00
|
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CFI LU Plan BD ELWD
|
20X
|
0.40
|
13.00
|
|
50X
|
0.55
|
9.80
|
|
100X
|
0.80
|
3.50
|
|
CFI LU Plan Epi*
|
5X
|
0.15
|
23.50
|
|
10X
|
0.30
|
17.30
|
|
20X
|
0.45
|
4.50
|
|
50X
|
0.80
|
1.00
|
|
100X
|
0.90
|
1.00
|
|
CFI LU Plan Epi ELWD*
|
20X
|
0.40
|
13.00
|
|
50X
|
0.55
|
10.10
|
|
100X
|
0.80
|
3.50
|
|
CFI LU Plan Apo BD
|
150X
|
0.90
|
0.42
|
|
CFI LU Plan Apo Epi*
|
150X
|
0.95
|
0.30
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| *使用EPI系列物镜时必须加装镜头转接座 |
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VMR-1515 LU
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VMR-3020 LU
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VMR-6555 LU
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VMR-10080 LU
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VMR-12072 LU
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行程 (XxYxZ) mm
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150 × 150 × 150
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300 × 200 × 150
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650 × 550 × 150
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1000 × 800 × 150
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1200 × 720 × 150
|
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|
0.1 μm
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20kg
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20kg
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30kg
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40kg
|
40kg
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|
测
量
精
度
|
U1XU1Y
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1.5+ 4L /1000 μm
|
1.5+ 4L /1000 μm
|
1.5+ 2.5L /1000 μm
|
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2.2+ 4L /1000 μm
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|
U2XY
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2.5+ 4L /1000 μm
|
2.5+ 4L /1000 μm
|
2.5+ 2.5L /1000 μm
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3+ 4L /1000 μm
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3.2+ 4L /1000 μm
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Z Axis
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1.5+ L/150 μm
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摄影机
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B & W 1/3"CCD(progresssive) ; Color 1/3"CCD
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光源种类
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底部光、表面光、暗视野
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电源
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AC100 ~ 240V±10%, 50/60Hz
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电力消耗
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Max. 13A
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Max. 15A
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仅主体
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512 × 703 × 1200 约 180kg
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625 × 728 × 1195 约 200kg
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690 × 730 × 1725 约 220kg
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1220 × 1680 × 1750 约 600kg
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1530 × 2200 × 1750 约 1500kg
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1734 × 2200 × 1750 约 1600kg
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控制箱
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250 × 550 × 500 约 31kg
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2100 × 1100
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2100 × 1100
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2400 × 2000
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2800 × 2500
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3000 ×
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