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为了避免震动影响到测量的正确性，VMR-H3030改良了机体的结构，增加了抗动性以减低震动对测量所造成的影响。
先进的载物台的设计，对于XY方向移动所可能产生的额外应力，因而导致载物台不在原定光学尺的轨道上滑动，使得测量数据产生误差的六大因素，进行矫正预防措施。
对于产生扩大，正在评估新的检验设备的评估者而言，是否要购买专用机？是考量新设备时必要的决定。若是购买专用机，不仅价格高昂，而功能上却不具延伸性，无法面面俱到。在种种的因素考量下，让很多评估者陷入两难，是否需要购买单一用途且价格不俗的专用机？还是购买多用途但相对精度不高的影像测量机？对于有这样疑问的采购者，VMR-H3030为这样的难题找到了一举两得的解决方案。
适用产业：研究实验室、高精度模具、光罩微机电系统、晶圆凸点...等
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