VMR-Z120高倍率系列 VMR-Z120高倍率系列

VMR-Z120X高倍率系列( 微机电 )

可变倍率高达120倍，针对需要较高精密度和高光学密度的应用领域

新开发的最高倍率机型VMR-Z120X

借由转换2组物镜而获得宽广的倍率，范围从1倍到120倍。使用上结合8段的变焦倍率后，使其应用从低倍率是宽广视野到小于1um的细微线宽测量，都有最佳的倍率选择。

两种物镜—大视野与高解析（N.A.0.55)

结合两种物镜的应用范围更加宽广，从低倍率时大视野的观察到高倍率时的精密测量都能使用。

倍率-视野表（mm）

光学倍率综合倍率视野	1X 36X 4.67x3.5	2X 72X 2.33x1.75	4X 144X 1.165x0.875	7.5X 270X 0.622x0.467
光学倍率综合倍率视野	16X 576X 0.291x0.218	32X 1146X 0.146x0.109	64X 2292X 0.073x0.065	120X 4320X 0.039x0.029

*以上的倍率显示为SXGA（1280*1024）模式于17“液晶屏幕上说呈现的结果

3种光源类型

模组借由提供3中CNC控制的光源类型给予最佳的照射-表面光、轮廓光（高倍率光学头）和暗视野，使得边缘的侦测拥有高精确度。

规格诸元表
机型		VMR-1515 Z120X	VMR-3020 Z120X	VMR-6555 Z120X	VMR-10080 Z120X	VMR-12072 Z120X
行程 (XxYxZ) mm		150 × 150 × 150	300 × 200 × 150	650 × 550 × 150	1000 × 800 × 150	1200 × 800 × 150
最小读值		0.1 μm
最大承重		20kg	20Kg	30Kg	40kg	40kg
测量精度	U1XU1Y	1.5+ 4L /1000 μm	1.5+ 4L /1000 μm	1.5+ 2.5L /1000 μm	2+ 4L /1000 μm	2.2+ 4L /1000 μm
	U2XY	2.5+ 4L /1000 μm	2.5+ 4L /1000 μm	2.5+ 2.5L /1000 μm	3+ 4L /1000 μm	3.2+ 4L /1000 μm
	Z Axis	1.5+ L/150 μm
摄影机		B & W 1/3"CCD(progresssive) ; Color 1/3"CCD
工作距离	高倍	9.8 mm
	低倍	32 mm
倍率─视野		1X -- 4.67 × 3.5 mm / 120X -- 0.039 × 0.029 mm
自动对焦方式		TTL雷射对焦和影像对焦
光源种类		底部光（高倍光学头）、表面光、暗视野
电源		AC100 ~ 240V±10%, 50/60Hz
电力消耗		Max. 13A		Max. 15A
外观尺寸与重量 (Wx DxH) mm	仅主体	512 × 703 × 1200 约 180kg	625 ×728 × 1195 约 200kg	N.A.
	主体与防震桌	690 × 730 × 1725 约 220kg	690 ×730 × 1725 约 240kg	1220 × 1680 × 1750 约 600kg	1530 × 2200 × 1750 约 1500kg	1734 × 2200 × 1750 约 1600kg
	控制箱	250 × 550 × 500 约 31kg
接地尺寸 (Wx D) mm		2100 ×1100	2100 ×1100	2400 ×2000	2800 ×2500	3000 ×2500

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VMR-Z120高倍率系列