晶圆基底测量系统，非接触，全自动测量提供出众的吞吐量，使用于测量FOUP和FOSB。特点，通过将运动面板以90度为增量进行旋转，实现对基底四个侧面的连续测量，符合SEMI标准的运动面板提供理想XYZ坐标，以及300毫米，200毫米晶圆基底及SMIF POD基坐。